|
課程名稱 |
薄膜技術與表面分析
THIN-FILM TECHNOLOGY AND SURFACE |
|
開課學期 |
98-2 |
|
授課對象 |
工學院 化學工程學系 |
|
授課教師 |
吳乃立 |
|
課號 |
ChemE5030 |
|
課程識別碼 |
524 U1800 |
|
班次 |
|
|
學分 |
3 |
|
全/半年 |
半年 |
|
必/選修 |
選修 |
|
上課時間 |
星期四7,8,9(14:20~17:20) |
|
上課地點 |
化工一 |
|
備註 |
化工選修課程。與陳立仁、呂宗昕、戴子安、王勝仕、吳嘉文合開
限學士班四年級以上
總人數上限：30人 |
|
Ceiba 課程網頁 |
http://ceiba.ntu.edu.tw/982THIN_FILM |
|
課程簡介影片 |
|
|
核心能力關聯 |
核心能力與課程規劃關聯圖 |
|
課程大綱
|
|
為確保您我的權利,請尊重智慧財產權及不得非法影印
|
|
課程概述 |
介紹各種薄膜材料分析基本技術及講述分析原理，並讓學生習作儀器。 |
|
課程目標 |
能瞭解薄膜分析基本技術
2.能瞭解電鍍薄膜原理及感應耦合電漿原子光譜分析
3.能明白X光繞射原理及分析薄膜晶相
4.能製作電變色薄膜及進行薄膜性能分析
5.能瞭解原子力顯微鏡基本原理及基本操作
6.能瞭解X射線光電子光譜與螺旋電子光譜基本原理及基本操作
7.能瞭解掃瞄式電子顯微鏡基本原理及基本操作
|
|
課程要求 |
課程大綱 分配時數 備註
單元主題 內容綱要 講授 示範 習作 其他2
緒論 1. 薄膜技術與表面分析 3
X光繞射及感測薄膜晶相分析 1. X光繞射原理
2. X光繞相分析
3. X光繞射晶相與晶粒尺寸分析
4. 實例計算 3 3
薄膜之製作技術 1. 溶膠-凝膠法
2. 化學蒸鍍法
3. 電漿及離子光束法 3 3
原子力顯微儀（AFM） 1. 穿隧效應
2. 穿隧效應之應用
3. 原子力顯微鏡（AFM）
4. 側力顯微鏡學（LFM）
5.相差成像（phase imaging） 3 3
以X射線光電子光譜（XPS）與螺旋電子光譜（Auger）進行表面分析 1. 表面分析簡介
2. X射線光電子光譜學
3. 螺旋電子光譜學
3 3
掃瞄式電子顯微鏡（SEM）分析 1. 電子顯微鏡的分類及其功能
2. 電子顯微鏡與光學顯微鏡之特性與功能比較
3. 電子顯微鏡機台構造
4. 電子顯微鏡操作注意事項 3 3
表面電漿共振 1. 表面電漿共振之原理
2. 生物分子間之交互作用
3. 應用表面電漿共振於生物分子間之交互作用
4. 表面電漿共振數據分析
5. 研究相關範例 3 3
教學要點概述：
1. 評量方法: 期中考，50%；期末考，50%
2. 教學方法： 基本原理及現象用黑板及配合投影機共同教學
部分內容配合影片放映以引起學生學習興趣
安排實驗實作課程，讓學生可實地瞭解儀器操作狀況
|
|
預期每週課後學習時數 |
|
|
Office Hours |
|
|
指定閱讀 |
|
|
參考書目 |
|
|
評量方式
(僅供參考) |
|
|
週次 |
日期 |
單元主題 |
|
第1週 |
2/25 |
課程簡介與緒論 |
|
第2週 |
3/04 |
X射線光電子光譜（XPS）與螺旋電子光譜（Auger）進行表面分析 |
|
第3週 |
3/11 |
掃描式電子顯微鏡(SEM)分析 |
|
第4週 |
3/18 |
薄膜之製作技術 |
|
第5週 |
3/25 |
原子力顯微儀 |
|
第6週 |
4/01 |
X光繞射分析 |
|
第7週 |
4/08 |
表面電漿共振 |
|
第8週 |
4/15 |
準備期中考 |
|
第9週 |
4/22 |
期中考 |
|
第10週 |
4/29 |
同步輻射簡介 |
|
第11週 |
5/06 |
X光繞射薄膜晶相分析實驗 |
|
第12週 |
5/13 |
薄膜之製作實驗 |
|
第13週 |
5/20 |
原子力顯微儀 |
|
第14週 |
5/27 |
以XPS與Auger進行表面分析實驗 |
|
第15週 |
6/03 |
掃描式電子顯微鏡(SEM)分析實驗 |
|
第16週 |
6/10 |
表面電漿共振實驗 |
|
第17週 |
6/17 |
準備期末考 |